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纽伦堡审判2000: 一种双质量块音叉式角速率陀螺仪.pdf

关 键 词:
一种 质量 音叉 速率 陀螺仪
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摘要
申请专利号:

CN201610878920.2

申请日:

2016.10.08

公开号:

CN106813655A

公开日:

2017.06.09

当前法律状态:

实审

有效性:

审中

法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01C 19/5621申请日:20161008|||公开
IPC分类号: G01C19/5621(2012.01)I 主分类号: G01C19/5621
申请人: 南京理工大学
发明人: 杨海波; 苏岩; 吴志强; 张晶
地址: 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
优先权:
专利代理机构: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱沉雁
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法律状态
申请(专利)号:

CN201610878920.2

授权公告号:

|||

法律状态公告日:

2017.07.04|||2017.06.09

法律状态类型:

实质审查的生效|||公开

摘要

本发明公开了一种双质量块音叉角速率陀螺仪,包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构的两个子结构对称分布在质量块连接机构和两个桁架与水平直梁的组合机构的两侧,第一U型梁沿子结构的长边设置,且位于长边的两端,桁架与水平直梁的组合机构通过第一U型梁与子结构连接,U型梁组合梁沿子结构的长边设置;直梁沿子结构宽度方向设置,用于连接子结构两侧的第一U型梁。本发明既能实现驱动模态与检测模态为第一阶模态和第二阶模态,又能有效抑制所有常见的驱动同向、检测同向和Z向模态等干扰模态,其一致性强,抗振动干扰能力强。

关于本文
本文标题:一种双质量块音叉式角速率陀螺仪.pdf
链接地址:http://www.xtywe.com.cn/p-6088668.html
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